MKS携新品亮相慕尼黑上海光博会 环球热点评

2023年6月27日至30日，由慕尼黑博览集团举办的慕尼黑国际光博会（LASERWorldofPHOTONICS）正式迎来了50周年！展会传递光电领域价值链，展示范围涵盖上下游全产业链，聚焦工业生产激光系统、成像、传感器、测量与测试技术、光学信息与通信、激光与光电子、生物与医学工程、光学制造等热门主题。　　此次，MKS在展会期间推出四款新型激光器。其中，Spectra-PhysicsTalon®Ace UV100 激光器,Spectra-Physics IceFyre®FS IR200 激光器和Spectra-PhysicsVanguard One UV125 激光器三款产品也会在即将于2023年7月11-13日在国家会展中心（上海）举办的第十七届慕尼黑上海光博会中向观众展示。

今年，第十七届慕尼黑上海光博会展示面积将达到80,000平方米，预计吸引全球1100余家光电行业知名企业入驻，超过80,000名海内外观众莅临现场参观洽谈。

(资料图片仅供参考)

届时欢迎您来MKS展位参观交流！展位号：。

产品介绍

Spectra-PhysicsTalon®Ace UV100激光器

用于先进电子和清洁能源中的高产量微加工。新型Talon Ace UV100激光器是MKS首次推出的新型 >100W高功率的可编程脉冲紫外纳秒激光器。

这款强大的新型脉冲纳秒激光器，以小尺寸提供引领前沿的 >100W紫外功率和优异的性价比。它提供了优异的灵活性，包括 TimeShift 可编程脉冲功能和极其宽的脉冲重复率范围，以优化微加工工艺。Talon Ace UV100激光器是先进电子封装、PC板、光伏、陶瓷、半导体和其他材料和组件的高速高质量微加工的理想选择。

Spectra-Physics 副总裁兼总经理 Herman Chui 表示：“Talon Ace UV100 激光器是一项极其具有吸引力的创新，它在产量、质量和工艺灵活性方面提供了优异的性能，为全天候大批量激光制造提供高性价比。新激光器进一步稳固了我们在激光微加工方面的标杆地位，在我们非常成功的 Talon 紫外和绿光纳秒激光器系列的基础上，该系列激光器具有100W紫外功率和我们独特的TimeShift可编程脉冲技术。”

Talon Ace UV100激光器以最高的单模纳秒紫外功率(>100W)和 >500 mJ 脉冲能量引领行业。基于我们在高功率紫外纳秒激光器方面数十年的丰富经验，正在申请专利的

Talon Ace UV100激光器在要求苛刻的全天候工业应用中表现出色。所有Talon Ace激光器都通过了广泛的环境鉴定测试，以确保高可靠性。Talon Ace UV100激光器实现全自动和计算机控制，能够提供优异的光束指向稳定性，确保高精度、高产量和操作一致性。

Spectra-Physics IceFyre®FS IR200 激光器

可用于快速、高质量微加工的高功率飞秒激光器。IceFyre FS IR200 激光器作为一款新型 >200 W 红外飞秒激光器，是显示器、先进电子产品和精密工业应用的理想选择。

这是一款工业飞秒激光器，提供 >200 W功率和 >200 µJ脉冲能量，超短<500 fs红外(IR)脉冲。新型激光器具有良好的性能和灵活性，提供从单次发射到 50 MHz的宽重复频率范围，TimeShift 可编程脉冲串模式，按需脉冲(POD)和位置同步输出(PSO)触发。IceFyre FS IR200 激光器是先进电子产品、显示器、清洁能源、医疗设备和其他要求苛刻的工业应用中玻璃、聚合物、金属、蓝宝石、聚晶金刚石和许多其他材料的高速高质量微加工的理想选择。

Spectra-Physics 欧洲区总经理 Jürgen Niederhofer 表示：“新的 IceFyre FS IR200 激光器是我们引领行业的 IceFyre FS 系列的重要补充，将此系列优异的性能、多功能性和可靠性扩展到红外，新型激光器是 MKS 在苛刻的高产量、精密微加工应用的又一次令人兴奋的领导力展示。

正在申请专利的IceFyre FS IR200 激光器建立在 MKS 深厚的经验和飞秒激光技术的基础上，每台IceFyre FS IR200 激光器都通过了广泛的环境鉴定测试，以确保高可靠性和低成本。全自动和计算机控制，全天候运行，在功率、光束参数和光束指向方面表现出优异的稳定性，为苛刻的应用提供了高精度和可重复性。It’s in the Box 设计将激光器和控制电路集成在一个简单易用的封装中。

Spectra-PhysicsVanguard One

UV125 激光器

用于生物仪器的紧凑紫外激光器。新型Vanguard One 激光器以噪声低、风冷运行为特征。

这是一款紧凑、一体化、准连续激光器，可提供 >125 mW的紫外功率。新型激光器采用风冷式工作，噪声<1%rms，使用寿命长，成本低。Vanguard One 激光器非常适合应用于生物仪器，包括流式细胞仪、显微镜、细胞分选以及半导体晶圆检测。

Spectra-Physics欧洲区总经理 Jürgen Niederhofer 表示：“Vanguard One 激光器是一款优异的的激光器，可满足生物仪器和工业应用对紫外激光的苛刻要求。基于我们在半导体市场上数十年的经验和久经考验的技术，这种新型激光器提供了生物仪器所需的高性能和可靠性。“

Vanguard One UV125 激光器基于非常成功的 Vanguard 产品系列，是一款一体式激光器，将电子器件、激光腔和冷却部分集合在一个外壳中，便于集成于台式机器中。准连续波操作确保高荧光信噪比，同时也防止生物仪器中的细胞损伤。激光固件实现闭环功率控制，确保长期稳定性，功率变化小于2%，确保测量结果的一致性。Vanguard One 激光器通过了广泛的环境鉴定测试，具有高可靠性和低拥有成本，适用于生物仪器和要求苛刻的工业应用。

Spitfire ACECEP6 激光器

(仅德国慕尼黑国际光博会上展示)

MKS 为阿秒科学　　开创载波包络相位稳定新标准

新的CEP6技术实现了再生超快放大器中创纪录的CEP稳定性。该技术拥有先进的载波包络相位(CEP)稳定能力，在高度稳定的再生超快放大器中提供创纪录的低CEP噪声。

CEP6拥有先进的载波包络相位(CEP)稳定能力，在高度稳定的再生超快放大器中提供创纪录的低CEP噪声。与性能优异的Spectra-Physics Spitfire Ace超快放大器搭配适用，CEP6 可产生 >5 mJ、<25 fs 的脉冲以及优异的CEP稳定性，在连续工作数小时内单次发射<100 mrad(10次发射平均值)和<300 mrad。CEP6具有良好的性能和稳定性，是尖端阿秒(10-18秒)科学和高次谐波应用的理想选择。

Spectra-Physics 激光器副总裁兼总经理Herman Chui表示：“CEP6是一项了不起的创新，在久经验证的再生超快放大器中提供了创纪录的CEP稳定性，是推进阿科学重要领域发展的有力工具。“作为超快激光器的引领者，Spectra-Physics激光器继续推进行业的发展，而CEP6进一步增进了这一领先地位，并真正实现了技术突破。”

CEP6 利用 f-to-2f 干涉仪通过 Element 2 倍频输出来测量载波频率。不同于传统的 CEP-stabilized 振荡器利用产生的误差信号、通机械控制棱镜或调整泵浦激光输出反馈振荡器，正在申请专利的 CEP6 前馈方法降低了这一要求，并将技术扩展到再生放大器。这使得系统对外部扰动的敏感性显著降低，从而实现了数小时稳定、低 CEP 噪声运行。